1. Definizzjoni tas-Sistema tal-Gass bl-Ingrossa:
Ħażna u kontroll tal-pressjoni ta' gassijiet inerti Tipi ta' gassijiet: Gassijiet inerti tipiċi (nitroġenu, argon, arja kkompressata, eċċ.)
Daqs tal-pajp: Minn 1/4 (pajp ta' monitoraġġ) sa pajp prinċipali ta' 12-il pulzier
Il-prodotti ewlenin tas-sistema huma: valv tad-dijaframma/valv tal-minfaħ/valv tal-ballun, konnettur ta' purità għolja (VCR, forma tal-iwweldjar), konnettur tal-ferrule, valv li jirregola l-pressjoni, manometru tal-pressjoni, eċċ.
Bħalissa, is-sistema l-ġdida tinkludi wkoll sistema ta' gass speċjali bl-ingrossa, li tuża ċilindri tal-gass fissi jew trakkijiet tank għall-ħażna u t-trasport.
2. Definizzjoni tas-Sistema ta' Purifikazzjoni:
Tneħħija ta' impuritajiet minn gassijiet bl-ingrossa għal pajpijiet tal-gass ta' purità għolja
3. Definizzjoni tal-Kabinetti tal-Gass:
Jipprovdu kontroll tal-pressjoni u monitoraġġ tal-fluss għal sorsi speċjali ta' gass (gassijiet tossiċi, fjammabbli, reattivi, korrużivi), u jkollhom il-ħila li jissostitwixxu ċ-ċilindri tal-gass.
Post: Jinsab fis-sular tas-Sub-fab jew fis-sular t'isfel għall-ħażna ta' gassijiet speċjali Sors: NF3, SF6, WF6, eċċ.
Daqs tal-pajp: Pajp tal-gass intern, ġeneralment 1/4 pulzier għall-pajp tal-proċess, 1/4-3/8 pulzier prinċipalment għal pajp tat-tneħħija tan-nitroġenu ta' purità għolja.
Prodotti ewlenin: Valvijiet tad-dijaframma ta' purità għolja, valvijiet ta' kontroll, gauges tal-pressjoni, konnetturi ta' purità għolja (VCR, forma ta' wweldjar) Dawn il-kabinetti tal-gass bażikament fihom kapaċitajiet ta' swiċċjar awtomatiku għaċ-ċilindri biex jiżguraw provvista kontinwa tal-gass u sostituzzjoni sikura taċ-ċilindri.
4. Definizzjoni tad-Distribuzzjoni:
Konnessjoni tas-sors tal-gass mal-kolja tal-ġbir tal-gass
Daqs tal-linja: Fil-fabbrika taċ-ċipep, id-daqs tal-pipeline tad-distribuzzjoni tal-gass bl-ingrossa ġeneralment ivarja minn 1/2 pulzier sa 2 pulzieri.
Forma ta' konnessjoni: Il-pajpijiet speċjali tal-gass ġeneralment huma konnessi permezz ta' wweldjar, mingħajr ebda konnessjoni mekkanika jew partijiet oħra li jiċċaqalqu, prinċipalment minħabba li l-konnessjoni tal-wweldjar għandha affidabbiltà qawwija tas-siġillar.
F'fabbrika taċ-ċipep, ikun hemm mijiet ta' kilometri ta' tubi konnessi biex jittrażmettu l-gass, li bażikament huma twal madwar 20 pied u wweldjati flimkien. Xi liwjiet tat-tubi u konnessjonijiet tal-iwweldjar tubulari huma wkoll komuni ħafna.
5. Kaxxa tal-valv b'ħafna funzjonijiet (Valve Manifold Box, VMB) Definizzjoni:
Huwa biex iqassam gassijiet speċjali mis-sors tal-gass għal trufijiet differenti tat-tagħmir.
Daqs tal-pajp intern: pajp tal-proċess ta' 1/4 pulzier, u pajp tat-tneħħija ta' 1/4 - 3/8 pulzier. Is-sistema tista' tuża kontroll tal-kompjuter biex teħtieġ valvijiet attivati jew sitwazzjonijiet ta' spiża aktar baxxa b'valvijiet manwali.
Prodotti tas-sistema: valvijiet tad-dijaframma/valvijiet tal-minfaħ ta' purità għolja, valvijiet ta' kontroll, ġonot ta' purità għolja (VCR, forma ta' mikro-iwweldjar), valvijiet li jirregolaw il-pressjoni, gauges tal-pressjoni u gauges tal-pressjoni, eċċ. Għad-distribuzzjoni ta' xi gassijiet inerti, jintuża prinċipalment il-Valve Manifold Panel - VMP (diska tal-valv multi-funzjoni), li għandu wiċċ ta' diska tal-gass miftuħa u ma jeħtieġx disinn ta' spazju magħluq u tneħħija addizzjonali tan-nitroġenu.
6. Pjanċa/kaxxa tal-valv sekondarju (Pannell tal-Konnessjoni tal-Għodda) Definizzjoni:
Qabbad il-gass meħtieġ mit-tagħmir tas-semikondutturi mis-sors tal-gass sat-tarf tat-tagħmir u pprovdi regolazzjoni tal-pressjoni korrispondenti. Dan il-pannell huwa sistema ta' kontroll tal-gass li hija eqreb lejn it-tarf tat-tagħmir mill-VMB (kaxxa tal-valv multi-funzjoni).
Daqs tal-pajp tal-gass: 1/4 - 3/8 pulzier
Daqs tal-pajp tal-likwidu: 1/2 - 1 pulzier
Daqs tal-pajp tal-ħruġ: 1/2 - 1 pulzier
Prodotti ewlenin: valv tad-dijaframma/valv tal-minfaħ, valv f'direzzjoni waħda, valv li jirregola l-pressjoni, manometru tal-pressjoni, manometru tal-pressjoni, ġonta ta' purità għolja (VCR, mikro-iwweldjar), ġonta ferrule, valv tal-ballun, pajp, eċċ.
Ħin tal-posta: 22 ta' Novembru 2024