Is-sinifikat tal-pajpijiet tal-gass ta' purità għolja għas-semikondutturi

As semikondutturu t-teknoloġiji mikroelettroniċi jiżviluppaw lejn prestazzjoni ogħla u integrazzjoni ogħla, jitqiegħdu rekwiżiti ogħla fuq il-purità tal-gassijiet speċjali elettroniċi. It-teknoloġija tal-pajpijiet tal-gass ta' purità għolja hija parti importanti mis-sistema tal-provvista tal-gass ta' purità għolja. Hija t-teknoloġija ewlenija għall-kunsinna ta' gassijiet ta' purità għolja li jissodisfaw ir-rekwiżiti għall-punti tal-użu tal-gass filwaqt li xorta jżommu kwalità kwalifikata.

It-teknoloġija tal-pajpijiet ta' purità għolja tinkludi d-disinn korrett tas-sistema, l-għażla ta' fittings tal-pajpijiet u materjali awżiljarji, il-kostruzzjoni u l-installazzjoni u l-ittestjar.

01 Kunċett ġenerali tal-pajpijiet tat-trażmissjoni tal-gass

Il-gassijiet kollha ta' purità għolja u ndafa għolja jeħtieġ li jiġu ttrasportati lejn il-punt terminali tal-gass permezz ta' pipelines. Sabiex jintlaħqu r-rekwiżiti tal-kwalità tal-proċess għall-gass, meta l-indiċi tal-esportazzjoni tal-gass ikun ċert, huwa aktar neċessarju li tingħata attenzjoni lill-għażla tal-materjal u l-kwalità tal-kostruzzjoni tas-sistema tal-pajpijiet. Minbarra l-eżattezza tat-tagħmir tal-produzzjoni jew tal-purifikazzjoni tal-gass, din hija affettwata ħafna minn ħafna fatturi tas-sistema tal-pipelines. Għalhekk, l-għażla tal-pajpijiet teħtieġ li tirrispetta l-prinċipji rilevanti tal-industrija tal-purifikazzjoni u timmarka l-materjal tal-pajpijiet fit-tpinġijiet.

02Is-sinifikat tal-pajpijiet ta' purità għolja fit-trasport tal-gass

Is-sinifikat tal-pajpijiet ta' purità għolja fit-trasport tal-gass ta' purità għolja Matul il-proċess tat-tidwib tal-azzar inossidabbli, kull tunnellata tista' tassorbi madwar 200g ta' gass. Wara li l-azzar inossidabbli jiġi pproċessat, mhux biss diversi sustanzi niġġiesa jeħlu fuq il-wiċċ tiegħu, iżda wkoll ċertu ammont ta' gass jiġi assorbit fix-xatt tal-metall tiegħu. Meta jkun hemm fluss tal-arja li jgħaddi mill-pajp, il-parti tal-gass assorbita mill-metall terġa' tidħol fil-fluss tal-arja u tniġġes il-gass pur.

Meta l-fluss tal-arja fil-pajp ma jkunx kontinwu, il-pajp jifforma assorbiment tal-pressjoni fuq il-gass li jgħaddi minnu. Meta l-fluss tal-arja jieqaf jgħaddi, il-gass assorbit mill-pajp jifforma analiżi tat-tnaqqis tal-pressjoni, u l-gass analizzat jidħol ukoll fil-gass pur fil-pajp bħala impurità.

Fl-istess ħin, iċ-ċiklu ta' adsorbiment u analiżi se jikkawża li l-metall fuq il-wiċċ ta' ġewwa tal-pajp jipproduċi ċertu ammont ta' trab. Din il-partiċella tat-trab tal-metall tniġġes ukoll il-gass pur fil-pajp. Din il-karatteristika tal-pajp hija importanti ħafna. Sabiex tiġi żgurata l-purità tal-gass trasportat, mhux biss huwa meħtieġ li l-wiċċ ta' ġewwa tal-pajp ikollu intoppi għoljin ħafna, iżda wkoll li jkollu reżistenza għolja għall-użu.

Meta l-gass ikollu proprjetajiet korrużivi qawwija, pajpijiet tal-istainless steel reżistenti għall-korrużjoni għandhom jintużaw għall-pajpijiet. Inkella, tikek ta' korrużjoni jidhru fuq il-wiċċ ta' ġewwa tal-pajp minħabba l-korrużjoni. F'każijiet severi, biċċiet kbar tal-metall jitqaxxru jew saħansitra jittaqqbu, u b'hekk jikkontaminaw il-gass pur li jkun qed jiġi ttrasportat.

03 Materjal tal-pajpijiet

L-għażla tal-materjal tal-pajp trid tintgħażel skont il-bżonnijiet tal-użu. Il-kwalità tal-pajp ġeneralment titkejjel skont il-ħruxija tal-wiċċ ta' ġewwa tal-pajp. Iktar ma tkun baxxa l-ħruxija, inqas ikun probabbli li jġorr partiċelli. Ġeneralment maqsum fi tliet tipi:

Wieħed huwaPajp tal-grad EP 316L, li ġie llustrat elettrolitikament (Electro-Polish). Huwa reżistenti għall-korrużjoni u għandu ħruxija tal-wiċċ baxxa. Rmax (l-għoli massimu mill-quċċata sal-wied) huwa madwar 0.3μm jew inqas. Għandu l-ogħla ċatt u mhux faċli li jifforma kurrenti mikro-eddy. Neħħi l-partiċelli kkontaminati. Il-gass ta' reazzjoni użat fil-proċess għandu jiġi mgħaddas f'dan il-livell.

Wieħed huwaGrad BA 316Lpajp, li ġie ttrattat minn Bright Anneal u ħafna drabi jintuża għal gassijiet li jkunu f'kuntatt maċ-ċippa iżda ma jipparteċipawx fir-reazzjoni tal-proċess, bħal GN2 u CDA. Wieħed huwa l-pajp AP (Annealing & Picking), li mhuwiex trattat b'mod speċjali u ġeneralment jintuża għal settijiet doppji ta' pajpijiet ta' barra li ma jintużawx bħala linji tal-provvista tal-gass.

04 Kostruzzjoni ta' pajpijiet

L-ipproċessar tal-bokka tal-pajp huwa wieħed mill-punti ewlenin ta’ din it-teknoloġija tal-kostruzzjoni. It-tqattigħ u l-prefabbrikazzjoni tal-pipeline jitwettqu f’ambjent nadif, u fl-istess ħin, jiġi żgurat li ma jkun hemm l-ebda marki ta’ ħsara jew ħsara fuq il-wiċċ tal-pipeline qabel it-tqattigħ. It-tħejjijiet għat-tlaħliħ tan-nitroġenu fil-pipeline għandhom isiru qabel ma tinfetaħ il-pipeline. Fil-prinċipju, l-iwweldjar jintuża biex jgħaqqad il-pipelines tat-trażmissjoni u d-distribuzzjoni tal-gass ta’ purità għolja u ndafa għolja bi fluss kbir, iżda l-iwweldjar dirett mhux permess. Għandhom jintużaw ġonot tal-kisi, u l-materjal tal-pajp użat huwa meħtieġ li ma jkollu l-ebda bidla fl-istruttura waqt l-iwweldjar. Jekk il-materjal b’kontenut għoli wisq ta’ karbonju jiġi wweldjat, il-permeabilità tal-arja tal-parti tal-iwweldjar tikkawża li l-gass ġewwa u barra l-pajp jippenetra lil xulxin, u jeqred il-purità, in-nixfa u l-indafa tal-gass li jwassal, li jwassal għal konsegwenzi serji u jaffettwa l-kwalità tal-produzzjoni.

Fil-qosor, għal pajpijiet ta' gass ta' purità għolja u pajpijiet ta' trasmissjoni ta' gass speċjali, għandu jintuża pajp ta' l-istainless steel ta' purità għolja ttrattat b'mod speċjali, li jagħmel is-sistema ta' pajpijiet ta' purità għolja (inklużi pajpijiet, fittings tal-pajpijiet, valvijiet, VMB, VMP) tokkupa missjoni vitali fid-distribuzzjoni tal-gass ta' purità għolja.