As semikondutturiu t-teknoloġiji mikroelettroniċi jiżviluppaw lejn prestazzjoni ogħla u integrazzjoni ogħla, jitqiegħdu rekwiżiti ogħla fuq il-purità tal-gassijiet speċjali elettroniċi. It-teknoloġija tal-pajpijiet tal-gass ta 'purità għolja hija parti importanti mis-sistema tal-provvista tal-gass ta' purità għolja. Hija t-teknoloġija ewlenija biex iwasslu gassijiet ta 'purità għolja li jissodisfaw ir-rekwiżiti għall-punti tal-użu tal-gass filwaqt li xorta jżommu kwalità kwalifikata.
It-teknoloġija tal-pajpijiet ta 'purità għolja tinkludi d-disinn korrett tas-sistema, l-għażla ta' fittings tal-pajpijiet u materjali awżiljarji, kostruzzjoni u installazzjoni u ttestjar.
01 Kunċett ġenerali tal-pajpijiet tat-trażmissjoni tal-gass
Il-gassijiet kollha ta 'purità għolja u ta' ndafa għolja jeħtieġ li jiġu ttrasportati lejn il-punt tal-gass terminali permezz ta 'pipelines. Sabiex jintlaħqu r-rekwiżiti tal-kwalità tal-proċess għall-gass, meta l-indiċi tal-esportazzjoni tal-gass ikun ċert, huwa aktar meħtieġ li tingħata attenzjoni lill-għażla tal-materjal u l-kwalità tal-kostruzzjoni tas-sistema tal-pajpijiet. Minbarra l-eżattezza tat-tagħmir tal-produzzjoni jew tal-purifikazzjoni tal-gass, hija affettwata ħafna minn ħafna fatturi tas-sistema tal-pipeline. Għalhekk, l-għażla tal-pajpijiet jeħtieġ li tirrispetta l-prinċipji rilevanti tal-industrija tal-purifikazzjoni u timmarka l-materjal tal-pajpijiet fit-tpinġijiet.
02Is-sinifikat ta 'pipelines ta' purità għolja fit-trasport tal-gass
Is-sinifikat ta 'pipelines ta' purità għolja fit-trasport tal-gass ta 'purità għolja Matul il-proċess tat-tidwib tal-istainless steel, kull tunnellata tista' tassorbi madwar 200g ta 'gass. Wara li l-istainless steel jiġi pproċessat, mhux biss diversi sustanzi li jniġġsu mwaħħla fuq il-wiċċ tiegħu, iżda wkoll ċertu ammont ta 'gass jiġi assorbit fil-kannizzata tal-metall tiegħu. Meta jkun hemm fluss ta 'arja li jgħaddi mill-pipeline, il-parti tal-gass assorbit mill-metall terġa' tidħol fil-fluss ta 'l-arja u tniġġes il-gass pur.
Meta l-fluss ta 'l-arja fil-pajp ikun mhux kontinwu, il-pajp jifforma adsorbiment ta' pressjoni fuq il-gass li jgħaddi. Meta l-fluss ta 'l-arja jieqaf jgħaddi, il-gass adsorbit mill-pajp jifforma analiżi tat-tnaqqis tal-pressjoni, u l-gass analizzat jidħol ukoll fil-gass pur fil-pajp bħala impurità.
Fl-istess ħin, iċ-ċiklu ta 'assorbiment u analiżi se jikkawża li l-metall fuq il-wiċċ ta' ġewwa tal-pajp jipproduċi ċertu ammont ta 'trab. Din il-partiċelli tat-trab tal-metall tħammeġ ukoll il-gass pur fil-pajp. Din il-karatteristika tal-pajp hija importanti ħafna. Sabiex tiġi żgurata l-purità tal-gass trasportat, mhux biss huwa meħtieġ li l-wiċċ ta 'ġewwa tal-pajp ikollu intoppi estremament għolja, iżda wkoll li għandu jkollu reżistenza għolja għall-ilbies.
Meta l-gass ikollu proprjetajiet korrużivi qawwija, pajpijiet tal-istainless steel reżistenti għall-korrużjoni għandhom jintużaw għall-pajpijiet. Inkella, tikek tal-korrużjoni se jidhru fuq il-wiċċ ta 'ġewwa tal-pajp minħabba l-korrużjoni. F'każijiet severi, biċċiet kbar tal-metall jitqaxxru jew saħansitra jtaqqbu, u b'hekk jikkontaminaw il-gass pur li qed jiġi ttrasportat.
03 Materjal tal-pajp
L-għażla tal-materjal tal-pajp jeħtieġ li tintgħażel skont il-ħtiġijiet tal-użu. Il-kwalità tal-pajp hija ġeneralment imkejla skond il-ħruxija tal-wiċċ ta 'ġewwa tal-pajp. Aktar ma tkun baxxa l-ħruxija, inqas ikun probabbli li ġġorr partiċelli. Ġeneralment maqsum fi tliet tipi:
Wieħed huwaPajp ta 'grad EP 316L, li ġie illustrat b'mod elettrolitiku (Electro-Polish). Huwa reżistenti għall-korrużjoni u għandu ħruxija baxxa tal-wiċċ. Rmax (il-quċċata massima għall-għoli tal-wied) hija madwar 0.3μm jew inqas. Għandu l-ogħla flatness u mhux faċli li tifforma kurrenti mikro-eddy. Neħħi partiċelli kkontaminati. Il-gass ta 'reazzjoni użat fil-proċess għandu jkun pajpijiet f'dan il-livell.
Wieħed huwa agrad BA 316Lpajp, li ġie ttrattat minn Bright Anneal u spiss jintuża għal gassijiet li huma f'kuntatt maċ-ċippa iżda ma jipparteċipawx fir-reazzjoni tal-proċess, bħal GN2 u CDA. Wieħed huwa pajp AP (Annealing & Picking), li mhux trattat b'mod speċjali u ġeneralment jintuża għal settijiet doppji ta 'pajpijiet ta' barra li ma jintużawx bħala linji tal-provvista tal-gass.
04 Kostruzzjoni ta' pipeline
L-ipproċessar tal-ħalq tal-pajp huwa wieħed mill-punti ewlenin ta 'din it-teknoloġija tal-kostruzzjoni. Il-qtugħ u l-prefabbrikazzjoni tal-pipeline jitwettqu f'ambjent nadif, u fl-istess ħin, huwa żgurat li ma jkunx hemm marki ta 'ħsara jew ħsara fuq il-wiċċ tal-pipeline qabel ma jinqatgħu. Il-preparazzjonijiet għall-fawra tan-nitroġenu fil-pipeline għandhom isiru qabel ma jinfetaħ il-pipeline. Fil-prinċipju, l-iwweldjar jintuża biex jgħaqqad il-pajpijiet tat-trażmissjoni u d-distribuzzjoni tal-gass ta 'purità għolja u ta' ndafa għolja bi fluss kbir, iżda l-iwweldjar dirett mhuwiex permess. Għandhom jintużaw ġonot tal-kisi, u l-materjal tal-pajp użat huwa meħtieġ li ma jkollu l-ebda bidla fl-istruttura waqt l-iwweldjar. Jekk il-materjal b'kontenut għoli ta 'karbonju huwa wweldjat, il-permeabilità ta' l-arja tal-parti ta 'l-iwweldjar tikkawża li l-gass ġewwa u barra l-pajp jippenetra lil xulxin, u jeqred il-purità, in-nixfa u l-indafa tal-gass tal-ġarr, li jwassal għal konsegwenzi serji u jaffettwaw il-kwalità tal-produzzjoni.
Fil-qosor, għal gass ta 'purità għolja u pajpijiet ta' trasmissjoni ta 'gass speċjali, għandu jintuża pajp ta' l-istainless steel ta 'purità għolja trattat b'mod speċjali, li jagħmel is-sistema ta' pajpijiet ta 'purità għolja (inklużi pajpijiet, fittings tal-pajpijiet, valvi, VMB, VMP) jokkupaw a missjoni vitali fid-distribuzzjoni tal-gass ta 'purità għolja.
Ħin tal-post: Nov-26-2024